钛及钛合金靶材
普森能够正常供货的钛靶材主要有:
钛铝(Ti-Al)合金靶材
使用了钛铝基涂层的刀具,立马拥有高进料速度、优异的切削性能、高金属切削率。此外,使用钛铝靶材镀膜还能有效保护工具不受磨损,从而延长使用寿命。钛铝靶材与阴极还用在电子产品如手机、眼镜框或者高档手表表盘上的装饰涂层。
钛铝靶材最重要的技术指标 | ||||||
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钛/铝含量 [at%] | 25/75 | 30/70 | 33/67 | 40/60 | 50/50 | 75/25 |
纯度 [%] | 99.7 | 99.7 | 99.7 | 99.7 | 99.7 | 99.7 |
可靠密度 [g/cm3] | 3.11 | 3.20 | 3.26 | 3.38 | 3.56 | 4.00 |
标准/细晶粒度 [µm] | 100/50 | 100/50 | 100/50 | 100/50 | 100/50 | 100/50 |
导热性 [W/(m·K)] | 115 | – | 102 | – | 61 | 30 |
热膨胀系数 [1/K] | 21 · 10-6 | 18 · 10-6 | 16 · 10-6 | 13 · 10-6 |
无论旋转或平面电弧阴极,或者平面溅射靶材:我们提供完全满足您的应用要求的定制型靶材。欢迎来电来函咨询!
高纯钛靶
钛镍(Ti-Ni)合金靶材
普森可提供生产服务的其他合金材料溅射靶材:
- 镍合金靶材:
镍铝(Ni-Al)、镍铬(Ni-Cr)、镍铬硅(Ni-Cr-Si)、镍铁(Ni-Fe)、镍铌钛(Ni-Nb-Ti)、镍钛(Ni-Ti)、镍钒(Ni-V)
- 锆合金靶材:
锆铝(Zr-Al)、锆铁(Zr-Fe)、锆铌(Zr-Nb)、锆镍(Zr-Ni)、锆钛(Zr-Ti)、锆钇(Zr-Y)
靶材小知识:
杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有殊要求。
密度
为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量。对于同种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。