钛及钛合金靶材
普森能够正常供货的钛靶材主要有：
钛铝（Ti-Al）合金靶材
使用了钛铝基涂层的刀具，立马拥有高进料速度、优异的切削性能、高金属切削率。此外，使用钛铝靶材镀膜还能有效保护工具不受磨损，从而延长使用寿命。钛铝靶材与阴极还用在电子产品如手机、眼镜框或者高档手表表盘上的装饰涂层。
| 钛铝靶材最重要的技术指标 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 钛/铝含量 [at%] | 25/75 | 30/70 | 33/67 | 40/60 | 50/50 | 75/25 |
| 纯度 [%] | 99.7 | 99.7 | 99.7 | 99.7 | 99.7 | 99.7 |
| 可靠密度 [g/cm3] | 3.11 | 3.20 | 3.26 | 3.38 | 3.56 | 4.00 |
| 标准/细晶粒度 [µm] | 100/50 | 100/50 | 100/50 | 100/50 | 100/50 | 100/50 |
| 导热性 [W/(m·K)] | 115 | – | 102 | – | 61 | 30 |
| 热膨胀系数 [1/K] | 21 · 10-6 | 18 · 10-6 | 16 · 10-6 | 13 · 10-6 | ||
无论旋转或平面电弧阴极，或者平面溅射靶材：我们提供完全满足您的应用要求的定制型靶材。欢迎来电来函咨询！
高纯钛靶
钛镍（Ti-Ni）合金靶材
普森可提供生产服务的其他合金材料溅射靶材：
- 镍合金靶材：
镍铝（Ni-Al）、镍铬（Ni-Cr）、镍铬硅（Ni-Cr-Si）、镍铁（Ni-Fe）、镍铌钛（Ni-Nb-Ti）、镍钛（Ni-Ti）、镍钒（Ni-V）
- 锆合金靶材:
锆铝（Zr-Al）、锆铁（Zr-Fe）、锆铌（Zr-Nb）、锆镍（Zr-Ni）、锆钛（Zr-Ti）、锆钇（Zr-Y）
靶材小知识：
杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和放射性元素含量都有殊要求。
密度
为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量。对于同种靶材，晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快；而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。
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