普森股份生产的铬靶材采用先进的热等静压(HIP)工艺生产,包括矩形靶(平面靶)、圆弧靶(多弧靶)、环形靶和整体成形管靶(旋转靶)等类型,具有纯度和密度可控、晶粒细小均匀、使用寿命长等优点。
铬靶 |
|
性 能 |
纯度/% |
|
99.5 |
99.95 |
密度/g/cm3 |
|
≥7.12 |
≥7.12 |
晶粒度/μm |
|
≤100 |
≤100 |
金属杂质总和/ppm |
|
≤5000 |
≤500 |
热导率/W/m.K |
|
60 |
100 |
热膨胀系数/1/K |
|
8×10-6 |
8×10-6 |
规格尺寸/mm |
平面靶 |
≤1500×500 |
≤1500×500 |
旋转靶 |
热等静压整体成形 |
热等静压整体成形 |
长度≤2000 |
长度≤2000 |
厚度≤15 |
厚度≤15 |
以下是高纯铬靶微量元素和主要杂质:
2N5- 微量元素PPM≥7.12g/cm3
成分 |
铁(Fe) |
铝(Al) |
硅(Si) |
碳(C) |
硫(S) |
氧(O) |
氮(N) |
标准 |
≤1500 |
≤1200 |
≤1500 |
≤200 |
≤50 |
≤1400 |
≤300 |
测试值 |
980 |
300 |
600 |
62 |
50 |
1200 |
200 |
2N8- 微量元素PPM≥7.12g/cm3
成分 |
铁(Fe) |
铝(Al) |
硅(Si) |
碳(C) |
硫(S) |
氧(O) |
氮(N) |
标准 |
≤800 |
≤300 |
≤400 |
≤200 |
≤50 |
≤1000 |
≤100 |
测试值 |
740 |
78 |
92 |
84 |
50 |
340 |
30 |
3N- 微量元素PPM≥7.12g/cm3
成分 |
铁(Fe) |
铝(Al) |
硅(Si) |
碳(C) |
硫(S) |
氧(O) |
氮(N) |
标准 |
≤500 |
≤100 |
≤150 |
≤150 |
≤30 |
≤500 |
≤100 |
测试值 |
290 |
47 |
80 |
90 |
28 |
450 |
50 |
3N5- 微量元素PPM≥7.12g/cm3
成分 |
铁(Fe) |
铝(Al) |
硅(Si) |
铜(Cu) |
镍(Ni) |
碳(C) |
硫(S) |
氧(O) |
氮(N) |
标准 |
≤100 |
≤50 |
≤50 |
≤10 |
≤50 |
≤50 |
≤30 |
≤150 |
≤80 |
测试值 |
50 |
45 |
40 |
7 |
10 |
24 |
27 |
137 |
30 |