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普森股份生产的铬靶材采用先进的热等静压(HIP)工艺生产,包括矩形靶(平面靶)、圆弧靶(多弧靶)、环形靶和整体成形管靶(旋转靶)等类型,具有纯度和密度可控、晶粒细小均匀、使用寿命长等优点。

铬靶   性 能
纯度/%   99.5 99.95
密度/g/cm3   ≥7.12 ≥7.12
晶粒度/μm   ≤100 ≤100
金属杂质总和/ppm   ≤5000 ≤500
热导率/W/m.K   60 100
热膨胀系数/1/K   8×10-6 8×10-6
规格尺寸/mm 平面靶 ≤1500×500 ≤1500×500
旋转靶 热等静压整体成形 热等静压整体成形
长度≤2000 长度≤2000
厚度≤15 厚度≤15

以下是高纯铬靶微量元素和主要杂质:

2N5- 微量元素PPM≥7.12g/cm3

成分 铁(Fe) 铝(Al) 硅(Si) 碳(C) 硫(S) 氧(O) 氮(N)
标准 ≤1500 ≤1200 ≤1500 ≤200 ≤50 ≤1400 ≤300
测试值 980 300 600 62 50 1200 200

2N8- 微量元素PPM≥7.12g/cm3

成分 铁(Fe) 铝(Al) 硅(Si) 碳(C) 硫(S) 氧(O) 氮(N)
标准 ≤800 ≤300 ≤400 ≤200 ≤50 ≤1000 ≤100
测试值 740 78 92 84 50 340 30

3N- 微量元素PPM≥7.12g/cm3

成分 铁(Fe) 铝(Al) 硅(Si) 碳(C) 硫(S) 氧(O) 氮(N)
标准 ≤500 ≤100 ≤150 ≤150 ≤30 ≤500 ≤100
测试值 290 47 80 90 28 450 50

3N5- 微量元素PPM≥7.12g/cm3

成分 铁(Fe) 铝(Al) 硅(Si) 铜(Cu) 镍(Ni) 碳(C) 硫(S) 氧(O) 氮(N)
标准 ≤100 ≤50 ≤50 ≤10 ≤50 ≤50 ≤30 ≤150 ≤80
测试值 50 45 40 7 10 24 27 137 30